Time resolved plasma diagnostics for pulsed 2.45 GHz hydrogen discharges

Se presenta una revisión de los últimos diez años de avances en el diagnóstico de plasma de resolución temporal para descargas de hidrógeno impulsadas por microondas de 2,45 GHz operadas por pulsos. Se ha prestado especial atención al estudio de los procesos de degradación y desintegración donde se exploran algunos fenómenos particulares para su aplicación en fuentes de iones. Las mediciones de la temperatura y la densidad del plasma mediante espectroscopía ultravioleta al vacío, fotografía ultrarrápida y espectroscopía de masas de iones se realizan en detalle, incluidos ejemplos y resultados.

A review of the last ten years of advances in temporal resolved plasma diagnostics for pulsed operated 2.45 GHz microwave-driven hydrogen discharges is presented. Special attention has been paid to the study of breakdown and decay processes where some particular phenomena are explored for application in ion sources. Measurements of plasma temperature and density using vacuum ultraviolet spectroscopy, ultra-fast photography, and ion mass spectroscopy are performed in detail, including examples and results.