PublicadoEl 23/11/22 por Comillas
Artículo

Special issue on surfaces patterned by ion sputtering

tipo de documento semantico ckh_publication

Ficheros

IIT-18-115A.pdf
Tamaño 455380
Formato Adobe PDF
Fecha de publicación 22/10/2018
Fuente Revista: Journal of Physics: Condensed Matter, Periodo: 1, Volumen: online, Número: 45, Página inicial: 450301-1, Página final: 450301-3
Estado info:eu-repo/semantics/publishedVersion

Resumen

Idioma es-ES
Idioma en-GB
Resumen

Scalable nanostructuring of surfaces using ion beam sputtering (IBS) is a versatile alternative to traditional lithography. Semiconductors, metals or compounds are amenable for IBS where different patterns can be obtained by tuning the experimental setup. This special issue addresses this problem in a wide range of topics, from a basic understanding of the physical mechanisms operating at the nanoscale, to practical applications, with a synergetic approach coming from theoretical as well as experimental groups.

Grupos de investigación y líneas temáticas Instituto de Investigación Tecnológica (IIT)
Tipo de archivo application/pdf
Idioma en-GB
Tipo de acceso info:eu-repo/semantics/openAccess
Fecha de modificacion 09/09/2022
Fecha de disponibilidad 01/11/2018
fecha de alta 01/11/2018

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