PublicadoEl 23/11/22 por Comillas
Artículo

Multi-technique characterization of MOVPE-grown GaAs on Si

tipo de documento semantico ckh_publication

Ficheros

Multi-Technical characterization of MOVPE-grown GaAs on Si (ME).pdf
Tamaño 960078
Formato Adobe PDF
Fecha de publicación 08/10/2010
Autor
Wong, C.S.
Bennet, N.S.
McNally, P.J.
Galiana Blanco, Beatriz
Tejedor Jorge, Paloma
Benedicto Córdoba, Marcos
Molina Aldereguia, Jon
Monaghan, S.
Hurley, P.K.
Cherkaoui, K.
Fuente Revista: Microelectronic Engineering, Periodo: 12, Volumen: 88, Número: 88, Página inicial: 472, Página final: 475
Estado info:eu-repo/semantics/publishedVersion

Resumen

Idioma es-ES
Resumen

Este es un trabajo de caracterización mediante múltiples técnicas con el objeto investigar las propiedades de las capas de GaAs crecidas por MOVPE sobre sustratos de Si - (100) con un offset de 4 hacia <1 1 0> bajo diferentes condiciones de crecimiento.

Idioma en-GB
Resumen

In this work multi-technique characterisation is used to investigate properties of GaAs layers grown by Metal Organic Vapour Phase Epitaxy (MOVPE) on Si substrates (100) with 4 offset towards <1 1 0> under various growth conditions.

Palabras clave

Tipo de archivo application/pdf
Idioma en-GB
Tipo de acceso info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Fecha de modificacion 12/12/2016
Fecha de disponibilidad 31/08/2016
fecha de alta 31/08/2016

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